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工业超纯水设备解决方案

新兴的光电材料生产、加工、清洗;LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏、高品质灯管显像管、微电子工业、FPC/PCB线路板、电路板、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,对水质的要求也越高,这也对超纯水处理工艺及产品的简易性、自动化程度、生产的连续性、可持续性等提出了更加严格的要求,目前工业部电子级水质技术标准将超纯水水质划分为五个等级(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准),电阻率大于10MΩ.cm的水一般被称作超纯水,小于则叫做纯水。


一般情况下工业超纯水制备有以下几种常规设计方式:

1、原水箱→原水增压泵→石英砂过滤器→活性碳过滤器→软水器→保安过滤器→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象 (≥18MΩ.CM)(传统工艺)

2、原水箱→原水增压泵→石英砂过滤器→活性碳过滤器→软水器→保安过滤器→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)(最新工艺)

3、原水箱→原水增压泵→石英砂过滤器→活性碳过滤器→软水器→保安过滤器→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17MΩ.CM)(最新工艺)

4、原水箱→原水增压泵→石英砂过滤器→活性碳过滤器→软水器→保安过滤器→反渗透系统→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)(最新工艺)

5、原水箱→原水增压泵→石英砂过滤器→活性碳过滤器→软水器→保安过滤器→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象 (≥15MΩ.CM)(传统工艺)

6、原水箱→原水增压泵→石英砂过滤器→活性碳过滤器→软水器→保安过滤器→反渗透系统→纯水箱→混床增压泵→超纯水箱→10MΩ.CM用水点

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