预处理部分主要包括：沙滤、活性碳塔(有的厂商在沙滤前还增设反应槽、气浮池)；一次纯水处理部分主要包括：阴阳离子交换塔、脱气塔(DG)、保安过滤器、紫外线杀菌器及多级反渗透；超纯水处理部分主要包括：MDG(脱氧膜组)、TOC-UV杀菌器、混床(MB)及终端过滤器。
考虑到在向工艺设备输送高纯水过程中，输水管道会对水质再次造成污染，因而在FAB内一般都设立抛光循环系统。抛光循环系统主要以MB为核心，再加上超滤设备(UF)，以除去在向工艺生产线输送纯水的过程中，管网溶入水中的杂质。
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